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激光塵埃粒子計數(shù)器在無塵車間的使用

瀏覽次數(shù):1414發(fā)布日期:2020-07-17
   激光塵埃粒子計數(shù)器是新一代觸摸屏便攜式塵埃粒子計數(shù)器,儀器采用彩色觸摸屏,外形美觀大氣,機身采用鋁合金材料,表面噴細砂銀灰色處理,小巧輕便;采用直流氣泵,連續(xù)工作穩(wěn)定,超低噪音,節(jié)能環(huán)保;內置進口數(shù)字流量傳感器,采樣流量動態(tài)準確控制;供電可使用交流供電,也可使用內置的大容量鋰電池供電,方便應用于無交流電場所的移動檢測。儀器是目前藥廠,電子廠快速檢測潔凈室潔凈度的首要之選,其主要應用范圍包括:
  潔凈室(區(qū))潔凈度的測試;
  電子廠、藥廠潔凈室的日常維護監(jiān)測;
  高濃度氣溶膠的測量;
  空氣中懸浮粒子的測量。
  集成電路制造業(yè)是需要在一個超凈環(huán)境中進行的,它是使用超純材料進行超精細加工的行業(yè)。集成電路制造對潔凈室環(huán)境的控制有嚴格的要求,不同的工藝對清潔度有不同的要求。
  半導體集成電路在生產過程中會接觸到很多污染物,比如無機離子、有機物質、微生物、氣體雜質等等。另外,不適當?shù)臏囟?、濕度、光照、靜電超標、電磁噪聲、空氣噪聲和微振動也是特殊的污染物。當顆粒雜質、無機離子、有機物質、微生物和氣體雜質的含量超過一定限度時,集成電路產品會出現(xiàn)表面劃傷、圖形斷裂、短路、針孔、脫皮等現(xiàn)象。導致電路泄漏和異常電氣特性,輕則影響電路性能和使用壽命,重則導致電路報廢。
  鑒于此需要使用激光塵埃粒子計數(shù)器來對半導體集成電路生產車間的環(huán)境進行監(jiān)測,保證產品生產環(huán)境達到潔凈標準,塵埃粒子計數(shù)器配置簡單,可從一個儀器轉移到另一個儀器,易于清潔和擦拭與小的粒子陷阱,多功能安裝選項,無縫集成到設備監(jiān)控系統(tǒng)。
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